一种易清洗有机硅临时键合材料及其制备方法和应用2025.pdf专利下载

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发明

2025-06-18 11:28:25 发布于四川 0

申请专利号：CN202510309822.6 公开（公告）日：2025-06-17 公开（公告）号：CN120158266A 申请人：深圳市化讯半导体材料有限公司

摘要：本发明提供一种易清洗有机硅临时键合材料及其制备方法和应用，所述易清洗有机硅临时键合材料按照重量百分比计，包括如下组分：有机溶剂40％～70％；乙烯基生胶10％～25％；含氢硅油10％～35％；补强剂1％～5％；催化剂0.5～1ppm；抑制剂0.5％～1.5％。本发明舍弃了常规的乙烯基硅油，使用乙烯基生胶作为交联主体，能更高效的调控产品的粘度以及稳定性，同时加入适量补强剂，提高了产品的耐热和拉伸性能，使得该产品具备有机硅的优点，满足键合需求，又能通过后续的高温制程，最后也能改善在解键合后的清洗除去性能。

专利内容

本发明提供一种易清洗有机硅临时键合材料及其制备方法和应用，所述易清洗有机硅临时键合材料按照重量百分比计，包括如下组分：有机溶剂40％～70％；乙烯基生胶10％～25％；含氢硅油10％～35％；补强剂1％～5％；催化剂0.5～1ppm；抑制剂0.5％～1.5％。本发明舍弃了常规的乙烯基硅油，使用乙烯基生胶作为交联主体，能更高效的调控产品的粘度以及稳定性，同时加入适量补强剂，提高了产品的耐热和拉伸性能，使得该产品具备有机硅的优点，满足键合需求，又能通过后续的高温制程，最后也能改善在解键合后的清洗除去性能。C09J183/05(2006.01);H01L21/683(2006.01);C09J183/07(2006.01);C09J11/06(2006.01);C09J11/08(2006.01)

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