自动化系统的运作方法与流程

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本发明涉及半导体制作工艺领域，尤其是涉及一种在无尘室内使光掩模交换流程自动化的系统的运作方法。

背景技术：

1、在半导体制作工艺领域中，随着光掩模数量的持续增加，对光掩模自动储存柜(stocker)的数量需求也越来越多。考虑光掩模自动储存柜的建造成本较高，目前的做法是将不常使用的光掩模从光掩模自动储存柜内取出，人工放置到储存柜里，并手动记录更新光掩模的地址，以上步骤称之为“光掩模退仓”。要使用光掩模时，再将光掩模从储存柜内取出，放回光掩模自动储存柜内，称之为“光掩模回线”。此做法耗费人力，且搬送过程中易有坠落等人为疏漏。其中上述的储存柜与光掩模自动储存柜不同的是，光掩模自动储存柜(stocker)为无尘室中常用光掩模的储存空间，具有自动化储存的功能，但造价较高，反之储存柜(一般储存空间)不具有电子自动化的功能，无法自动将光掩模存入或是取出，但是造价便宜。因此在光掩模自动储存柜不足的情况下，使用者陷入成本与稳定性的两难中。

技术实现思路

1、本发明提供一种自动化系统的运作方法，包含提供一自动化系统，自动化系统至少包含:一光掩模交换机，包含有至少一运送盒位于其中，一无人搬运车，一自动封袋机，以及一传输轨道，连接自动封袋机以及一储存柜。其中，无人搬运车将光掩模交换器中的运送盒拿出，并且送至自动封袋器中进行封袋，且将封袋后的运送盒经由传输轨道传送至储存柜进行储存。

2、本发明的特征，在于提供一种自动化系统的运作方法，其中使用了储存柜取代一部分的光掩模自动储存柜(stocker)，使得整体成本可以降低，且以自动化的机器取代人力运送，使光掩模运送时不易产生坠落等人为疏失，在降低整体成本的同时，仍能确保安全性。

技术特征：

1.一种自动化系统的运作方法，包含:

2.如权利要求1所述的自动化系统的运作方法，其中该光掩模交换机中包含有光掩模盒以及该运送盒，且该光掩模交换机将光掩模从该光掩模盒中移出并且转移至该运送盒中。

3.如权利要求2所述的自动化系统的运作方法，其中还包含:

4.如权利要求3所述的自动化系统的运作方法，其中还包含:

5.如权利要求2所述的自动化系统的运作方法，其中还包含有曝光机台，且该光掩模盒中的该光掩模被使用于该曝光机台以进行曝光制作工艺。

6.如权利要求1所述的自动化系统的运作方法，其中该光掩模交换机以及该自动封袋机之间规划有固定路径，且该无人搬运车沿着该固定路径行进。

7.如权利要求1所述的自动化系统的运作方法，其中还包含有归档系统，连接该传输轨道以及该储存柜。

8.如权利要求7所述的自动化系统的运作方法，其中该归档系统记录该运送盒被储存于该储存柜中的位置信息。

9.如权利要求1所述的自动化系统的运作方法，其中该无人搬运车将该运送盒从该光掩模交换机取出后，该无人搬运车将该运送盒装入抗静电袋，然后将该抗静电袋以及该运送盒送至该自动封袋机进行封口。

10.如权利要求1所述的自动化系统的运作方法，其中还包含:该无人搬运车将空运送盒送至该光掩模交换机内。

技术总结
本发明公开一种自动化系统的运作方法，包含提供一自动化系统，自动化系统至少包含:一光掩模交换机，包含有至少一运送盒位于其中，一无人搬运车，一自动封袋机，以及一传输轨道，连接自动封袋机以及一储存柜。其中，无人搬运车将光掩模交换器中的运送盒拿出，并且送至自动封袋器中进行封袋，且将封袋后的运送盒经由传输轨道传送至储存柜进行储存。

技术研发人员：吴超,钱忠利,卢正达,王清伟,谈文毅
受保护的技术使用者：联芯集成电路制造(厦门)有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/16

网址：自动化系统的运作方法与流程 https://www.yuejiaxmz.com/news/view/1219120

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