高端光刻机照明系统光瞳整形与校正技术研究

如果发现灯光有偏移，可能是灯光系统需要校正。 #生活技巧# #汽车保养技巧# #汽车灯光调节#

高端光刻机照明系统光瞳整形与校正技术研究

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摘要：集成电路是电子信息行业的命脉，光学光刻技术的进步使其发展规律能够一直遵循摩尔定律。光刻机是光学光刻技术的核心设备。随着光刻分辨率的不断提升，先后出现了多种分辨率增强技术，如离轴照明技术等。光刻照明系统作为光刻机的关键单元，它通过对准分子激光器发出光束的空间分布和角谱分布进行调制，为掩模提供曝光成像所需的照明模式与照明光场。离轴照明模式就是由照明系统中的光瞳整形单元实现的。为了实现中国高端光刻机自主研发及产品化，本论文针对浸没式光刻机，开展了光瞳整形及校正技术的研究工作。　　随着离轴照明技术的提出，光瞳性能对曝光图像质量和套刻...

关键词：

授予学位：

博士

学科专业：

导师姓名：

学位年度：

2021

语种：

中文

分类号：

TN405.7(微电子学、集成电路（IC）)

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