北方华创取得清洗设备的卡盘装置及清洗设备专利

发布时间：2025-06-18 08:56

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金融界2024年12月24日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司取得一项名为“清洗设备的卡盘装置及清洗设备”的专利，授权公告号 CN 115020315 B，申请日期为 2022年6月。

本文源自：金融界

作者：情报员

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