北京北方华创微电子装备有限公司取得预热装置及半导体工艺设备专利，节省调整准备时间提高产率

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金融界2025年1月2日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司取得一项名为“预热装置及半导体工艺设备”的专利，授权公告号CN 222233579 U，申请日期为2024年1月。

专利摘要显示，本实用新型提供了一种预热装置及半导体工艺设备，涉及半导体设备技术领域，为解决现有工艺槽的配液和换酸的准备过程需要大量时间，导致产率降低的问题而设计。该预热装置包括预热槽、检测组件和加热元件，预热槽设置有用于盛放工艺溶液的内腔；预热槽开设有溶液注入口和溶剂注入口；溶剂注入口的前端设置有可调流量计，可调流量计用于调节进入内腔的溶剂流量。检测组件用于检测内腔的工艺溶液的参数信息，以根据参数信息确定工艺溶液浓度值，以根据工艺溶液浓度值控制可调流量计的开度。加热元件安装于预热槽，用于加热内腔的工艺溶液。本实用新型节省了调整准备时间，提高了产率。

本文源自：金融界

作者：情报员

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